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1、
利用x射线衍射、紫外可见分光椭圆偏振谱、原子力显微镜及x射线光电子谱等研究了薄膜的结构、表面形貌和成分分布等。
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2、
以微电导少子寿命测试仪和X射线光电子能谱仪测试结果作为依据，对各个影响因素进行了系统的分析，比较不同工艺条件下的钝化效果。
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3、
4、
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